6英寸半绝缘碳化硅晶锭_天成半导体 -天成半导体

6英寸半绝缘碳化硅晶锭

以高纯度碳化硅微粉为原料，使用自主研制的晶体生长炉，采用物理气相传输法（PVT 法）生长碳化硅晶锭，后经过磨平、滚圆、切割、研磨、抛光得到表面无损伤的碳化硅衬底片。