参杂碳化硅粉料_天成半导体 -天成半导体

参杂碳化硅粉料

将高纯硅粉和高纯碳粉按一定配比混合，利用自蔓延法制备的高纯SiC粉料，其纯度高达99.9995%，通过梯度升温，特殊气氛环境下，合成高纯度碳化硅粉料，可用于制备高纯碳化硅晶体。