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碳化硅单晶生长炉主要应用于生长6英寸N型及半绝缘碳化硅单晶衬底。设备严格按照ISO9000 系列标准或相应的质量管理和质量保证体系，对所供设备的设计、制造、检验、涂装、包装、指导安装调试等各个环节进行严格的质量管理和质量控制。